特許
J-GLOBAL ID：200903045156309701
ノズルプレートおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
原 謙三
, 木島 隆一
, 金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-209840
公開番号（公開出願番号）：特開2005-074635
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】超微量の流体を吐出する静電吸引型流体吐出装置に好適に用いることのできるノズルプレートであって、ノズル先端部近傍に安定して電極を形成することができると共に、複数のノズル孔部間を電気的に独立させることも容易で、かつ、ノズル孔に形成された電極への駆動信号の印加をノズルプレートにおける流体供給側より行うことが可能なノズルプレートを提供する。【解決手段】第1のノズル孔11aを有し、流体吐出側に配される薄層の第1のノズル層1と、該第1のノズル層1の流体供給側に積層され、第1のノズル層1よりも厚層で、かつ上記第1のノズル孔11aと連通すると共に第1のノズル孔11aとでノズル孔11を構成する第2のノズル孔11bを有する第2のノズル層2を備え、第1のノズル孔11aの内壁に成膜された第1の電極層25と、第2のノズル孔11bの内壁に成膜された第2の電極層26とが電気的に接続されている。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
電圧印加により帯電された流体をノズル先端の流体吐出孔から静電吸引により吐出させる静電吸引型流体吐出装置に備えられ、複数のノズル孔部を有するノズルプレートにおいて、
第1のノズル孔を有し、流体吐出側に配される薄層の第1のノズル層と、
該第1のノズル層の流体供給側に積層され、上記第1のノズル層よりも厚層で、かつ上記第1のノズル孔と連通すると共に第1のノズル孔とでノズル孔部を構成する第2のノズル孔を有する第2のノズル層を少なくとも一層備え、
該第1のノズル孔の内壁に成膜された第1の電極層と、第2のノズル孔の内壁に成膜された第2の電極層とが電気的に接続されていることを特徴とするノズルプレート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103G
2C057AF55
, 2C057AF93
, 2C057AG91
, 2C057AH07
, 2C057AP13
, 2C057AP32
, 2C057AP52
, 2C057AQ03
, 2C057BD05
