特許
J-GLOBAL ID：200903045177062781
メタルマスク、及び、その製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹田 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-402771
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183811
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】メタルマスクの壁面の構造を改善し、メタルマスクの下面のパターンと正確に同一の形状の製品を製造できるメタルマスクを提供する。【解決手段】金属Aからなる本体層の下側にエッチング特性が金属Aとは異なる金属Cの分離層を設けた母材の両面に光硬化樹脂層を設け、下面はパターンを形成するための形状に、上面は母材をエッチングする形状に焼き付け、下側からエッチング特性が金属Cとは異なる金属Bからなるパターン層を電着し、上面から金属Aからなる本体層次いで金属Cからなる分離層をエッチングして、逆台形の空孔を有するメタルマスクを製造し提供する。
請求項（抜粋）：
少なくとも、下側に設けられた比較的薄くて精度の高い形状の空孔を有するパターン層と、上側に設けられた比較的厚くて下側のパターン層の空孔から上方に向かって次第に大きい形状に拡がって行く空孔を有する本体層とを含め、2以上の層からなることを特徴とするメタルマスク
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/04 A
, C23F 1/00 A
4K029HA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K057WA11
, 4K057WB03
, 4K057WB08
, 4K057WC05
, 4K057WE02
, 4K057WE08
, 4K057WN10
