特許
J-GLOBAL ID：200903045186203908

ワーク保持装置

発明者：
伊藤 一寿

伊藤 一寿 について

, 
伊藤 慎

伊藤 慎 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (3件)： 富澤 孝 ,  山中 郁生 ,  岡戸 昭佳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-216108
公開番号（公開出願番号）：特開2004-063526
出願日： 2002年07月25日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】ワーク保持装置からのパーティクル等の異物の発生を抑えること。【解決手段】ワーク保持装置は、本体枠1に設けられたエアピストン2により基盤ベース3を移動させて、基盤ベース3と本体枠1との間でワークWを掴んで保持する。基盤ベース3は、弾性変形可能な変形部材13により本体枠1に支持される。変形部材13は、基盤ベース3の移動方向に沿って平行配置され、同移動方向に対し傾斜配置された2枚1組の板ばね13a,13bを含む。2枚の板ばね13a,13bと、本体枠1と、基盤ベース3により平行四辺形が構成される。基盤ベース3が移動するとき、2枚の板ばね13a,13bが平行をなして変形して上記平行四辺形関係が保たれ、基盤ベース3が水平及び垂直の両方向へ移動することになる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
本体枠に設けられた駆動源により可動枠を移動させることにより、可動枠と本体枠との間でワークを掴んで保持するワーク保持装置において、 前記可動枠を弾性変形可能な変形部材を介して前記本体枠に支持したことを特徴とするワーク保持装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07
FI (5件)：
H01L21/68 S ,  H01L21/68 L ,  B25J15/08 H ,  B25J15/08 U ,  B65G49/07 F
Fターム (31件)：
3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007ES17 ,  3C007ET08 ,  3C007EU07 ,  3C007EU14 ,  3C007EW16 ,  3C007HS14 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA10 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA14 ,  5F031JA19 ,  5F031JA21 ,  5F031JA22 ,  5F031LA10 ,  5F031LA15 ,  5F031NA05 ,  5F031PA08 ,  5F031PA26
引用特許：
審査官引用 (4件)
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