特許
J-GLOBAL ID:200903045463106125
集束電極付電界放出型冷陰極
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-038234
公開番号(公開出願番号):特開平8-236012
出願日: 1995年02月27日
公開日(公表日): 1996年09月13日
要約:
【要約】【目的】電界放出型冷陰極において、電子流の集束収差が少なく、且つ集束された電子流を低いゲート電極電位で得ることを目的とする。【構成】電界放出型冷陰極のゲート電極開口部周辺を基板側に凹ませ、且つゲート電極開口部と同軸上に同数の開口部を有する集束電極をゲート電極上に具備する。更に、ゲート電極と集束電極の間に、ゲート電極開口部と同軸上に同数の開口部を有する遮蔽電極を具備する。
請求項(抜粋):
少なくとも表面が導電体である基板上に複数の先端の尖ったエミッタコーンと前記エミッタコーンの先端を取り囲むゲート電極開口部を有するゲート電極とを有し、かつ前記基板と前記ゲート電極間に絶縁層を有する電界放出冷陰極において、前記ゲート電極開口部は前記基板側に凹み、かつ前記ゲート電極開口部各々に対抗するとともに中心軸が一致する開口部を有する集束電極を具備し、さらに前記ゲート電極と前記集束電極間に絶縁層を有することを特徴とする電界放出型冷陰極。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 1/30 B
, H01J 31/12 B
引用特許:
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