特許
J-GLOBAL ID:200903045531123599
除振装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
梶 良之
, 須原 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-403844
公開番号(公開出願番号):特開2005-163915
出願日: 2003年12月02日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】 本発明は、剪断バネ定数を小さくしつつ、且つ、空気バネに対して、空気バネの伸縮方向と直交する方向に作用する負荷が小さい除振装置を提供することを目的とする。【解決手段】 上部に配置される機器との間で振動が相互に伝達される除振ブロック2と、前記除振ブロック2に対して水平方向に負荷を作用させる第1の空気バネ3を備える。外枠4は、前記除振ブロックを内包するように周囲を囲むとともに、前記第1の空気バネ3を前記除振ブロック2とで挟むように床面に固定される。前記第1の空気バネ3よりも剪断バネ定数が小さく、前記除振ブロック2に対して第1の空気バネ3が作用させる負荷の方向と交差する方向に前記除振ブロック2から前記第1の空気バネ3に作用する負荷を緩和する緩和体を、前記除振ブロック2と前記第1の空気バネ3との間に配置する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
上部に配置される機器との間で振動が相互に伝達される除振ブロックと、
前記除振ブロックに対して水平方向に負荷を作用させる第1の空気バネと、
床面に固定され、前記除振ブロックを内包するように周囲を囲み、前記第1の空気バネを前記除振ブロックとで挟むように配置される外枠と、を備え、
前記第1の空気バネよりも剪断バネ定数が小さく、且つ、前記除振ブロックに対して前記第1の空気バネが作用させる負荷の方向と交差する方向に前記除振ブロックから前記第1の空気バネに作用する負荷を緩和する緩和体が、前記除振ブロックと前記第1の空気バネとの間に配置されている除振装置。
IPC (2件):
FI (2件):
F16F15/02 A
, F16F15/023 Z
Fターム (7件):
3J048AA02
, 3J048AB01
, 3J048AB07
, 3J048AC04
, 3J048BE02
, 3J048DA05
, 3J048EA13
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-216835
出願人:藤倉ゴム工業株式会社
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アクティブ型除振装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-348095
出願人:株式会社フジタ
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除振装置、露光装置およびデバイス製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-134240
出願人:キヤノン株式会社
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特開平1-247839
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特開平1-247839
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特開平3-219141
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特開平3-219141
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免震装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-344985
出願人:日本原子力研究所, 川崎重工業株式会社, オイレス工業株式会社
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除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-095893
出願人:キヤノン株式会社
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特開平4-262145
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特開平4-262145
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アクテイブ振動絶縁装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-188993
出願人:昭和電線電纜株式会社
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