特許
J-GLOBAL ID:200903045807649808

光導波路基板、光導波路基板の製造方法、光導波路部品、及び光導波路部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 宜喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-317807
公開番号(公開出願番号):特開2001-133650
出願日: 1999年11月09日
公開日(公表日): 2001年05月18日
要約:
【要約】【課題】 プレス成形法を用いて中間クラッド層を形成し、且つ熱膨張に起因する転写精度の低下を防止し、微細パターンのコア部を有する光導波路基板の製造方法、及び光ファイバを接続するための光導波路部品の製造方法を実現すること。【解決手段】 平面ガラス基板10からなる下部クラッド層上11に、熱可塑性樹脂又は低融点ガラスからなるプレート12を載せる。コア形状の線状凸部を有するプレス型を用いて、プレート12を加熱軟化させてプレスし、溝部14を有する中間クラッド層13を形成する。次に屈折率の異なる透明樹脂15を溝部14に充填し、コア18を形成する。そしてその上に平面ガラス基板12からなる上部クラッド層17を固定し、光導波路基板を製作する。
請求項(抜粋):
光ビームをコア内で拘束してコアの軸に沿って伝搬させる光導波路基板の製造方法であって、屈折率n1のガラス基板を所定形状に加工して、一方の平面を光学的接合面とする下部クラッド層を得る工程(1)と、前記下部クラッド層の光学的接合面に、屈折率n2を有する熱可塑性樹脂又は低融点ガラスからなるプレートを載置する工程(2)と、前記コアと同一形状を有する線状凸部が形成されたプレス型を用いて前記プレートを押圧し、前記プレス型と前記下部クラッド層とを加熱することにより前記プレート素材を軟化させ、前記プレス型の線状凸部が前記下部クラッド層の光学的接合面に当たるまで押圧と加熱を続ける工程(3)と、前記工程(3)の完了後に前記プレス型を冷却すると共に、前記プレートへの押圧状態から前記プレス型を開放し、前記コアの空間となる溝部が形成された中間クラッド層を得る工程(4)と、前記中間クラッド層の前記溝部に、屈折率n3(n3>n2,n1)を有する透明樹脂を充填して硬化させることによりコアを得る工程(5)と、前記工程(5)後の中間クラッド層の上面に、屈折率n4(n4<n3)を有する平面ガラス基板を接合することにより上部クラッド層を形成する工程(6)と、を有することを特徴とする光導波路基板の製造方法。
IPC (3件):
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/30
FI (3件):
G02B 6/30 ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N
Fターム (12件):
2H037BA24 ,  2H037CA34 ,  2H037DA04 ,  2H037DA12 ,  2H047KA03 ,  2H047KA15 ,  2H047MA05 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41
引用特許:
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る