ダイシングマシンの洗浄装置及び洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000555
公開番号（公開出願番号）：特開2003-203884
出願日： 2002年01月07日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】ダイシング装置の洗浄装置において、洗浄水とエアとが良好に混合され、洗浄力の優れた洗浄ノズルを有する洗浄装置を提供するとともに、加工中及び加工後のワークに対して有効なコンタミ除去が行われる洗浄方法を提供すること。【解決手段】ダイシングマシン10の洗浄装置40において、洗浄ノズル41を水とエアの混合ノズルとし、混合ノズルには、水の流路41Aを中心にその円周上に複数のエアの流路41B、41B、...を形成し、複数のエアの流路41B、41B、...を混合ノズルの先端近傍で前記水の流路41Aに合流させ、合流後の流路の形状をがラッパ状に広がってなる噴射口41Cとして形成した。これにより水の粒子が細かく、また、均一に混合される。このため、高圧洗浄水を用いることなく有効な洗浄が行えるので、装置のコストアップを抑えることができる。

請求項（抜粋）：

回転ブレードでワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマシンの洗浄装置において、該洗浄装置の洗浄ノズルは、水とエアとが供給される混合ノズルであって、該混合ノズルには、中心部に水の流路が形成されると共に、その周囲に複数のエアの流路が形成され、該複数のエアの流路が混合ノズルの先端近傍で前記水の流路に合流され、合流後の流路の形状がラッパ状に広がってなる噴射口が形成されていることを特徴とするダイシングマシンの洗浄装置。

IPC (5件)：

H01L 21/301 , B05B 7/32 , B08B 3/02 , B28D 5/00 , B28D 7/02

FI (5件)：

B05B 7/32 , B08B 3/02 B , B28D 5/00 Z , B28D 7/02 , H01L 21/78 F

Fターム (20件)：

3B201AA01 , 3B201AA46 , 3B201AB33 , 3B201BB38 , 3B201BB90 , 3B201BB92 , 3B201BB99 , 3C069AA01 , 3C069BA04 , 3C069CA03 , 3C069CA05 , 3C069DA06 , 3C069DA07 , 4F033QA09 , 4F033QB02Y , 4F033QB03X , 4F033QB12Y , 4F033QB15X , 4F033QD14 , 4F033QF07Y

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-288230
基板端縁洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-246137 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
スピン処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-112533 出願人：株式会社芝浦製作所

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