圧力検出装置用パッケージ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-258368
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065868
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】小型で高感度であり、外部の圧力を正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】一方の主面に半導体素子3が搭載される搭載部1bを有する絶縁基体1と、この絶縁基体1に配設され、半導体素子3の各電極が電気的に接続される複数の配線導体5と、絶縁基体1の他方の主面との間に密閉空間Sを形成するように可撓な状態で絶縁基体1に接合された絶縁板2と、絶縁基体1の他方の主面に被着され、配線導体5の一つ5aに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極7と、絶縁板2の内側主面に被着され、配線導体5の他の一つ5bに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極8とを具備する圧力検出装置用パッケージであって、配線導体5a・5bが異なる絶縁層間を経由してかつ互いに上下に重なり合うことなく搭載部1bまたはその周囲に導出している。

請求項（抜粋）：

複数の絶縁層が積層されて成り、一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の表面および内部に、その一端が前記搭載部またはその周辺に導出するように配設されており、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記絶縁基体の他方の主面との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記絶縁基体の他方の主面に被着されており、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側主面に前記第一電極と対向するように被着されており、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極とを具備して成る圧力検出装置用パッケージであって、前記第一電極に接続された配線導体と前記第二電極に接続された配線導体とは、互いに異なる絶縁層間を経由してかつ互いに上下に重なることなく前記搭載部またはその周辺に導出していることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。

Fターム (8件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF49 , 2F055GG01 , 2F055GG12

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-009727
セラミック配線基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-366870 出願人：京セラ株式会社
特開平4-009727

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