BaLiF3単結晶体

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-262268
公開番号（公開出願番号）：特開2009-091185
出願日： 2007年10月05日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：

【課題】BaLiF3単結晶体を融液成長法で製造した際に、結晶中心部と周辺部で真空紫外光の透過率が異なりやすいという問題を解決し、真空紫外光透過用の光学部材を作製するための原材料として用いることの可能な、光透過率の均一性に優れたBaLiF3単結晶体の製造方法を提供する。【解決手段】BaF2とLiFとKFとからなり、これらの含有比率がモル基準で、Li/(Ba+Li+K)が0.52〜0.65の範囲にあり、かつK/(Ba+K)が0.002〜0.040の範囲にある原料溶融液を用いてBaLiF3単結晶体を育成する。得られる単結晶体は、通常、K/(Ba+K)が0.001〜0.010の範囲でKを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

融液成長法によって、真空紫外光透過用光学部材を作製するための原材料として用いるBaLiF3単結晶体を製造する方法であって、原料溶融液として、BaF2とLiFとKFとからなり、これらの含有比率がモル基準で、Li/(Ba+Li+K)が0.52〜0.65の範囲にあり、K/(Ba+K)が0.002〜0.040の範囲にある原料溶融液を用いることを特徴とする前記BaLiF3単結晶体の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/12 , C30B 15/04 , C01F 11/22 , G02B 1/02

FI (4件)：

C30B29/12 , C30B15/04 , C01F11/22 , G02B1/02

Fターム (19件)：

4G076AA05 , 4G076AA18 , 4G076AB04 , 4G076BA17 , 4G076BB04 , 4G076BB05 , 4G076CA34 , 4G076DA11 , 4G077AA02 , 4G077AB01 , 4G077BE02 , 4G077CF10 , 4G077EB01 , 4G077EB05 , 4G077EC10 , 4G077HA01 , 4G077PB01 , 4G077PB05 , 4G077PB14

引用特許：

出願人引用 (4件)

液浸式露光装置のラストレンズ
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-140667 出願人：株式会社トクヤマ
フッ化物結晶からなる真空紫外領域用光学部材および光学部材用コーティング材
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-031172 出願人：エヌイーシートーキン株式会社
多元系フッ化物単結晶およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-317193 出願人：エヌイーシートーキン株式会社

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