ガラス基板の接合方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052165
公開番号（公開出願番号）：特開2004-256380
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】ガラス基板の接合部の泡の発生を無くし、製品の外観を損ねるだけでなく、接合強度を低下させるという問題がある。【解決手段】複数枚のガラス基板を重ね合わせて、複数枚のガラス基板の厚さ方向に圧力を加えながら加熱を行い複数枚のガラス基板を接合する接合方法において、ガラス基板を接合するに先立って、少なくとも一方のガラス基板の接合面に流体を流す流路溝とは別にダミー溝を形成するとともに、ダミー溝と連結し、かつ大気中に通ずる貫通穴を形成して接合する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数枚のガラス基板を重ね合わせて、該複数枚のガラス基板の厚さ方向に圧力を加えながら加熱を行い前記複数枚のガラス基板を接合する接合方法において、ガラス基板を接合するに先立って、少なくとも一方のガラス基板の接合面に流体を流す流路溝とは別にダミー溝を形成するとともに、該ダミー溝と連結し、かつ大気中に通ずる貫通穴を形成することを特徴とするガラス基板の接合方法。

IPC (2件)：

C03B23/203 , B01J19/00

FI (2件)：

C03B23/203 , B01J19/00 321

Fターム (8件)：

4G075AA13 , 4G075AA39 , 4G075BA10 , 4G075EE12 , 4G075EE21 , 4G075FA01 , 4G075FA05 , 4G075FB06

引用特許：

審査官引用 (5件)

集積マイクロセラミック化学プラント
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-094957 出願人：イーストマンコダックカンパニー
ガラス材の接着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-083317 出願人：直江津電子工業株式会社
マイクロリアクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-237842 出願人：株式会社山武

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