特許
J-GLOBAL ID：200903046673753626

試料観察方法及び電子顕微鏡

発明者：
小嶋 雄樹

小嶋 雄樹 について

, 
那須 修

那須 修 について

, 
植田 和弘

植田 和弘 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-302725
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114426
出願日： 2004年10月18日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 観察箇所の帯電量を所望の帯電量に安定して制御することができる試料観察方法、及びそれを実現する電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料の状態にあわせてプリチャージを行う一次電子線108の照射条件を制御し、エネルギーフィルタ101bと2つの電子検出器102a,102bを用いて検出される二次電子信号量から観察箇所が所望の帯電量になったことを確認し、観察箇所の帯電量を制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡を用いた試料観察方法において、 試料の観察箇所の帯電電圧を計測する工程と、 前記計測された帯電電圧にあわせて試料に印加するリターディング電圧を調整する工程と、 試料に一次電子線を照射しながら、試料から発生した高エネルギーの二次電子と低エネルギーの二次電子を分離して検出する工程と、 高エネルギーの二次電子の検出信号と低エネルギーの二次電子の検出信号を用いて前記試料の観察箇所が所望の帯電量に達したか否かを判定し、所望の帯電量になるまで一次電子線を照射して前記試料の観察箇所をプリチャージする工程とを含むことを特徴とする試料観察方法。
IPC (4件)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/244
FI (4件)：
H01J37/28 B ,  H01J37/05 ,  H01J37/20 H ,  H01J37/244
Fターム (9件)：
5C001CC04 ,  5C033AA05 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP01 ,  5C033NP06 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM