浮揚物品搬送システム及び搬送方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：北澤一浩 , 小泉伸 , 市川朗子 , 松下ひろ美
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-561307
公開番号（公開出願番号）：特表2005-528586
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】プリント回路基板、フラットパネルディスプレイ、及びインターコネクトデバイス基板等の略平面状基板を、浮揚状態で、撮像位置へ及び撮像位置から搬送するための搬送システム及び搬送方法の提供。【解決手段】搬送システムは、気流コンベヤ及び撮像装置を備えている。気流コンベヤは、浮揚状態で略平面状基板を搬送し、気流による基板平坦化機能を有する。撮像装置は、該基板平坦化機能によって平坦化された該平面状基板を撮像する。

請求項（抜粋）：

略平面状基板に使用される撮像システムであって、該撮像システムは、平面状基板を少なくとも撮像位置へ搬送する気流コンベヤと、該撮像位置に位置し該平面状基板を撮像する画像取得部とを備え、該平面状基板は、プリント回路基板、フラットパネルディスプレイ、及びインターコネクトデバイス基板から成る一群の基板から選択された基板であり、該気流コンベヤは、少なくとも該撮像位置において気流による基板平坦化機能を有し、該画像取得部は、該気流による基板平坦化機能によって平坦化された該平面状基板を撮像することを特徴とする撮像システム。

IPC (6件)：

G01N21/84 , B65G49/06 , B65G51/03 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68

FI (6件)：

G01N21/84 C , B65G49/06 Z , B65G51/03 C , G03F7/20 501 , H01L21/68 A , H01L21/30 502J

Fターム (25件)：

2G051AA65 , 2G051AA73 , 2G051AB02 , 2G051AC11 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051DA07 , 2H097AB07 , 2H097BA02 , 2H097DB11 , 2H097LA09 , 2H097LA11 , 2H097LA20 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA62 , 5F031GA64 , 5F031MA27 , 5F031MA33 , 5F031PA02 , 5F031PA13 , 5F046CC17 , 5F046CC20 , 5F046CD07

引用特許：

審査官引用 (5件)

フラットパネル検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-180559 出願人：エヌティエヌ株式会社
浮上搬送装置および浮上搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-244645 出願人：株式会社渡邊商行, 株式会社ワコム電創
特開平2-033031

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