特許
J-GLOBAL ID：200903046756564825

発光装置の作製方法

発明者：
荒井 康行

荒井 康行 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-142465
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033190
出願日： 2001年05月11日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、高いスループットで膜厚分布の均一性の高い薄膜を成膜する方法を用いて自発光装置を作製する技術を提供することを目的とする。【解決手段】 蒸発物質噴出口がオリフィス状となっている蒸発セル内に低分子有機エレクトロルミネッセンス材料が封入され、不活性ガス雰囲気中で前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料を加熱して、基板上に前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料から成る発光層を形成することを特徴としている。
請求項（抜粋）：
蒸発セル内に低分子有機エレクトロルミネッセンス材料が封入され、不活性ガス雰囲気中で前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料を加熱して、基板上に前記低分子有機エレクトロルミネッセンス材料から成る発光層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
Fターム (20件)：
3K007AB04 ,  3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB01 ,  3K007BB02 ,  3K007BB05 ,  3K007BB07 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA01 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA02 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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