特許
J-GLOBAL ID：200903046762447296
圧力及び流量の制御方法並びにその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-221187
公開番号（公開出願番号）：特開平11-110050
出願日： 1998年08月05日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 減圧雰囲気下又は大気圧雰囲気下の処理室内に流体を供給又は流体を排出する際の流体圧力を制御して処理室内の被処理体のダメージを抑制すること。【解決手段】 マイクロバルブ53の操作流体付与側に、この操作流体の圧力を検出する圧力変換器54を設けると共に、この圧力変換器54からの検出信号に基づいてマイクロバルブ53を制御可能に形成し、かつ、マイクロバルブ53を、処理室35内が例えば減圧雰囲気から大気圧雰囲気に達するまでの複数の目標値に基づいて制御すると共に、処理室35内が大気圧に達した状態でダイヤフラム弁50の開度速度を緩やかに制御するCPU52からの信号に基づいて制御可能に形成することにより、例えば減圧雰囲気下の処理室内に流体を供給する際の流体圧力を制御して処理室内の被処理体のダメージを抑制する。
請求項（抜粋）：
目標圧以上又は以下の雰囲気下の処理室内を上記目標圧雰囲気にする圧力及び流量の制御方法であって、上記処理室内に連通する流体管路に介設される開度調整手段の開度速度を、第1の期間では予め定められた第1の関数近似線を理想値としてこれに対して第1の目標値まで制御し、その他の期間では予め設定された複数の目標値に段階的に制御して、上記処理室内が上記目標圧に達するよう上記流体管路を流れる流体の圧力及び流量を制御することを特徴とする圧力及び流量の制御方法。
IPC (6件)：
G05D 16/06
, G05B 11/36
, G05B 11/36 505
, G05D 7/06
, G05D 16/20
, H01L 21/304 361
G05D 16/06 L
, G05D 16/06 K
, G05B 11/36 N
, G05B 11/36 505 D
, G05D 7/06 Z
, G05D 16/20 A
, H01L 21/304 361 V
