特許

J-GLOBAL ID：200903047007978148

結晶育成装置

発明者： 岩橋 友也 ,  佐々木 孝友 ,  森 勇介 ,  川村 史朗
出願人/特許権者： 松下電工株式会社 ,  森 勇介
代理人 (2件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-154588
公開番号（公開出願番号）：特開2005-335983
出願日： 2004年05月25日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】 いわゆるナトリウムフラックス法を用いて窒化ガリウムの単結晶を得るようにした結晶育成装置において、高品質で大きな結晶を育成できるようにする。【解決手段】 秤量器8にて金属ナトリウムおよびガリウムの質量を計測する秤量部1と、加熱容器21にてそれらの出発原料を溶融するとともにパイプ22から導入した窒素ガスを溶け込ませて成る混合融液に種結晶を反応させて前記窒化ガリウムを成長させる育成部2とを備えた結晶育成装置において、秤量部1は、脱酸素雰囲気中で秤量を行うとともに、育成部2との間に、内部を、秤量中の環境に適合させて秤量部1から出発原料を受入れ、育成中の環境に適合させて育成部2へ出発原料を受渡す雰囲気調整部3を介在する。これによって、原料や育成部分を大気にさらすことなく、原料を継続して搬入でき、高品質な結晶を得ることができ、また種結晶を引き上げることで、大きな塊を得ることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

アルカリ金属またはアルカリ土類金属の少なくとも1つとIII族金属とを含む出発原料の質量を計測する秤量部と、前記出発原料を溶融して成る混合融液に窒素原子を含ませた融液を反応させてIII族窒化物の結晶を成長させる育成部とを備えた結晶育成装置において、 前記秤量部は、脱酸素雰囲気中で秤量を行うとともに、該秤量部と前記育成部との間に、内部を、秤量中の環境に適合させて前記秤量部から出発原料を受入れ、育成中の環境に適合させて前記育成部へ前記出発原料を受渡す雰囲気調整部を介在することを特徴とする結晶育成装置。

IPC (2件)：

C30B11/06 ,  C30B29/38

FI (2件)：

C30B11/06 ,  C30B29/38 D

Fターム (10件)：

4G077AA02 ,  4G077BE15 ,  4G077CD05 ,  4G077EA06 ,  4G077EG26 ,  4G077EG29 ,  4G077HA02 ,  4G077MB12 ,  4G077MB21 ,  4G077MB35

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許公報第5868837号明細書
  
• GaN単結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-097551   出願人：科学技術振興事業団
• III族窒化物結晶成長方法およびIII族窒化物結晶成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-351371   出願人：株式会社リコー