板材検査システム

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐野義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119731
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310639
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】設置床面積を広く必要としないようにする。検査機構の設備に制約がないようにする。板材の全ての検査を短時間で完了する。【解決手段】搬送方向に沿って配置され搬送される板材Pに流体を噴射して板材Pを起立させる流体噴射機構11と流体噴射機構11の下方に配置され板材Pを下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構12とを備えた搬送ユニット1と、板材Pを検査する検査機構2とからなる。搬送ユニット1は、搬送方向へ複数台が連結されている。検査機構2は、種類の異なる検査を行うものが搬送ユニット1ごとに設備されている。

請求項（抜粋）：

搬送方向に沿って配置され搬送される板材に流体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構とを備えた搬送ユニットと、板材を検査する検査機構とからなり、搬送ユニットは搬送方向へ複数台が連結され、検査機構は種類の異なる検査を行うものが搬送ユニットごとに設備されている板材検査システム。

IPC (6件)：

G01B 21/00 , B65G 49/06 , B65G 51/03 , G01B 11/30 , G01B 21/30 , H01L 21/68

FI (6件)：

G01B 21/00 H , B65G 49/06 Z , B65G 51/03 C , G01B 11/30 A , G01B 21/30 , H01L 21/68 A

Fターム (46件)：

2F065AA49 , 2F065BB13 , 2F065BB22 , 2F065CC25 , 2F065DD06 , 2F065FF02 , 2F065FF04 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065JJ12 , 2F065JJ14 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065MM07 , 2F065PP11 , 2F065SS11 , 2F069AA60 , 2F069BB13 , 2F069CC06 , 2F069DD15 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069JJ06 , 2F069JJ13 , 2F069JJ19 , 2F069MM02 , 2F069MM31 , 2F069RR01 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031FA18 , 5F031GA15 , 5F031GA24 , 5F031GA30 , 5F031GA45 , 5F031GA51 , 5F031GA63 , 5F031JA40 , 5F031LA13 , 5F031MA03 , 5F031MA09 , 5F031MA33 , 5F031NA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板処理システムの基板搬送方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-129882 出願人：旭硝子株式会社
表示パネル用基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-022504 出願人：株式会社日本マイクロニクス
被測定基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-364770 出願人：株式会社日本マイクロニクス

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