被測定基板の検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364770
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183863
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【目的】構造を簡単にして廉価にすることにある。【解決手段】検査装置は、被測定基板を第1及び第2の処理手段に受け渡すアライメント手段が、アライメント機能のみならず、被測定基板を水平の状態から傾斜した状態に又はその逆に変更する機能を有することを特徴とする。これにより、被測定基板の姿勢を変更する手段とアライメント手段との間での被測定基板の受け渡しをする手段が不要であるから、それだけ構造が簡単になり、廉価になる。

請求項（抜粋）：

被測定基板を第1及び第2の処理手段に受け渡すアライメント手段であって前記第1の処理手段に対する受け渡しをする水平の状態及び前記第2の処理手段の側に部材に対する受け渡しをする傾斜した状態に被測定基板を選択的に変位させるとともに、受けた被測定基板のアライメントをするアライメント手段を含む、被測定基板の検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352 , H01L 21/68

FI (3件)：

G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352 , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (11件)

表示パネル基板の検査方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-052542 出願人：株式会社日本マイクロニクス
昇降装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-268038 出願人：ソニー株式会社
基板外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-266307 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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