特許
J-GLOBAL ID：200903047179062196
電気光学装置およびその作製方法並びに電子機器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344403
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160735
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 高精細かつ高コントラストなAMLCDを実現する。【解決手段】 素子電極101上に層間膜102を設け、当該層間膜102に対して開孔部103を形成する。次に、第1の金属層104を形成した後、埋め込み絶縁層105を形成する。そして、エッチバック法等の手段により埋め込み絶縁層105を後退させ、開孔部103が充填された状態を実現する。こうすることで平坦性を確保したまま素子電極101と第2の金属層107との電気的な接続が可能となる。
請求項（抜粋）：
1個乃至数個のTFTと当該TFTに接続された画素電極と、を備えた複数の画素で構成される画素マトリクス回路を有する電気光学装置において、前記画素電極の一部は前記TFTと電気的に接続するためのコンタクト部を形成し、当該コンタクト部に生じる凹部には絶縁層が埋め込まれていることを特徴とする電気光学装置。
IPC (3件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, H01L 29/78 612 Z
, H01L 29/78 627 G
