特許
J-GLOBAL ID：200903047206640890
露光用フォトマスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286716
公開番号（公開出願番号）：特開2002-099070
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】【課題】 グレートーン露光では、感光性樹脂膜厚を制御することと、膜厚平坦性を十分に確保することは難しかった。【解決手段】 露光機の解像度と遮光、非遮光部の大きさと膜厚平坦性の関係を明らかにし、フォトマスクの遮光部と非遮光部の面積割合から平均露光量を算出することで、露光量-膜厚曲線より膜厚推測を可能とし、またグレートーン露光の信頼性を向上させることが可能となった。
請求項（抜粋）：
紫外光により感光性樹脂を複数の膜厚を有するようパターニングする際に用いられ、前記感光性樹脂のパターニングを行う露光機の解像度以下の寸法で形成された遮光部と非遮光部を繰り返して形成した露光用フォトマスクであって、前記遮光部と前記非遮光部の面積割合は、前記面積割合に基づき求められる単位面積当たりの平均露光量と、前記感光性樹脂の膜厚と露光量の関係において露光量として前記平均露光量の値を入力して得られる前記感光性樹脂の膜厚と、により決定されることを特徴とする露光用フォトマスク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/08 A
, H01L 21/30 502 P
2H095BA07
, 2H095BB01
, 2H095BB31
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (1件)
前のページに戻る
