特許

J-GLOBAL ID：200903047277088640

感光性半導体ナノ結晶、半導体ナノ結晶パターン形成用感光性組成物及びこれらを用いたパターン形成方法

発明者： 朴 鍾 辰 ,  張 銀 珠 ,  田 信 愛 ,  安 ▲タエ▼ ▲キュン▼ ,  李 晟 熏
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-305592
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128539
出願日： 2004年10月20日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 成膜または鋳型の使用など厄介な工程なしで簡単に半導体ナノ結晶のパターンを得ることが可能な、感光性半導体ナノ結晶及び半導体ナノ結晶の感光性組成物を提供するとともに、これらを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】感光性作用基を有する化合物で表面配位された半導体ナノ結晶、半導体ナノ結晶の感光性組成物、及び前記感光性半導体ナノ結晶または前記組成物からフィルムを形成し、これを露光及び現像して半導体ナノ結晶のパターンを得る。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

感光性作用基を有する化合物で表面配位された結晶体からなる半導体ナノ結晶。

IPC (3件)：

G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/027 ,  H01L21/30 502R

Fターム (9件)：

2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許第5,559,057号明細書
  
• 米国特許第6,139,626号明細書
  
• 米国特許第5,751,018号明細書
  
• 米国特許第6,602,671号明細書
  

審査官引用 (6件)

• 水溶性蛍光半導体ナノ結晶
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-571265   出願人：マサチューセッツインスティテュートオブテクノロジー
• 光重合性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-319186   出願人：三井化学株式会社
• 製造品及びドープされた粒子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-081622   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-013275   出願人：富士通株式会社
• 感光性誘電体形成用組成物、誘電体および電子部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-369930   出願人：JSR株式会社
• 窒化物系化合物半導体発光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-035170   出願人：キヤノン株式会社