特許
J-GLOBAL ID：200903047376326936

ダイヤモンドライクカーボン皮膜被覆部材およびその製造方法

発明者：
鈴木 史人

鈴木 史人 について

, 
北村 征寛

北村 征寛 について


出願人/特許権者：
DOWAホールディングス株式会社

DOWAホールディングス株式会社 について


代理人 (1件)： 大川 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-219597
公開番号（公開出願番号）：特開2007-031797
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 合金鋼などからなる母材とダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜との密着性が良好なダイヤモンドライクカーボン皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 処理装置10の真空処理室12内において、ターゲット22としてクロムターゲットを使用してスパッタリングすることにより、母材20上にクロム皮膜を介して窒素含有クロム皮膜を形成した後、ターゲット22としてカーボンターゲットを使用してスパッタリングすることにより、窒素含有クロム皮膜上にDLC皮膜を形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
母材上に窒素含有クロム皮膜が形成され、この窒素含有クロム皮膜上にダイヤモンドライクカーボン皮膜が形成されていることを特徴とする、ダイヤモンドライクカーボン皮膜被覆部材。
IPC (1件)：
C23C 14/06
FI (1件)：
C23C14/06 P
Fターム (9件)：
4K029AA02 ,  4K029AA24 ,  4K029BA07 ,  4K029BA34 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BB10 ,  4K029BD03 ,  4K029CA06
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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