異なる環境において耐摩耗性に優れたダイアモンドライクカーボン多層膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-064272
公開番号（公開出願番号）：特開2004-269991
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】異なる環境においても高い密着力、低い摩擦係数、そして優れた耐摩耗性を示す被膜を提供する。【解決手段】本発明による被膜は、ダイアモンドライクカーボン(DLC)多層膜であり、柔らかいDLC膜(S)と硬いDLC膜(H)が交互に積層されたものである。硬度が比較的低く、基板との密着性が良好な柔らかいDLC膜Sは、第1層として基板に付着され、次に硬いDLC膜Hを第1層の上に付着させる。このように柔らかいDLC薄層と硬いDLC薄層を順番に付着させて行き、厚さ約1μmの多層膜が作られる。多層の構成単位である薄層の厚さは、50から250nmまで様々である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

熱電子励起型プラズマCVD装置を用いて基体上に形成されたダイアモンドライクカーボン多層膜であって、該基体上に柔らかい膜Sと硬い膜Hとが交互に積層されていることを特徴とするダイアモンドライクカーボン多層膜。

IPC (3件)：

C23C16/27 , C01B31/02 , C23C16/503

FI (3件)：

C23C16/27 , C01B31/02 101Z , C23C16/503

Fターム (20件)：

4G146AA05 , 4G146AB07 , 4G146AC23A , 4G146AC23B , 4G146AD14 , 4G146AD28 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC16 , 4G146BC27 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030BA28 , 4K030BB12 , 4K030CA02 , 4K030DA03 , 4K030DA04 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030LA23

引用特許：

審査官引用 (8件)

ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-081969 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭60-065796
特開平3-080190

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