レーザ加工装置及びレーザ加工方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：岡部正夫 , 加藤伸晃 , 産形和央 , 臼井伸一 , 越智隆夫 , 本宮照久 , 高橋誠一郎 , 吉澤弘司 , 松井孝夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-280913
公開番号（公開出願番号）：特開2006-095530
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】加工室内の温度変化による加工位置精度への影響を抑えることができる、簡易かつ低廉なレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供すること。【解決手段】レーザ光源から放射されたレーザビームを被加工物に導く光学系素子と、レーザビームにより加工される被加工物を載置する加工台と、光学系素子及び該加工台が配置される加工室と、該加工室内へ外気を導入する外気導入手段と、を備えるレーザ加工装置であって、加工室は、外気導入手段により加工室内に外気を導入するための外気導入口と、該加工室と外部とを連通する通気口と、を有し、該加工室内に、該外気導入口から該通気口へ向かう気流流れを形成する、レーザ加工方法及びレーザ加工装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源から放射されたレーザビームを被加工物に導く光学系素子と、レーザビームにより加工される被加工物を載置する加工台と、該光学系素子及び該加工台が配置される加工室と、該加工室内へ外気を導入する外気導入手段と、を備えるレーザ加工装置であって、該加工室は、外気導入手段により加工室内に外気を導入するための外気導入口と、該加工室と外部とを連通する通気口と、を有し、該加工室内に、該外気導入口から該通気口へ向かう気流流れを形成することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (1件)：

B23K 26/12

FI (1件)：

B23K26/12

Fターム (4件)：

4E068CE03 , 4E068CE04 , 4E068CG00 , 4E068DA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

レーザ加工装置及びこれを用いた電子部品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-005905 出願人：太陽誘電株式会社
レーザ加工用温度補償装置及び温度補償方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-079216 出願人：住友重機械工業株式会社

審査官引用 (1件)

レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-138085 出願人：三菱電機株式会社

前のページに戻る