プラズマディスプレイパネルの製造方法および基板保持具

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-039428
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273445
出願日： 2004年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】プラズマディスプレイパネルの基板への成膜において、膜質に悪影響を与える成膜装置内のダストの発生を抑制することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法とその基板保持具を実現することを目的とする。【解決手段】基板3とダミー基板35を下方から支持する支持手段34aと、基板3の面方向の位置を規制する規制手段とからなる保持手段を有する枠体33よりなる第一の基板保持具31を第二の基板保持具32によって保持しながら成膜する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

プラズマディスプレイパネルの基板を基板保持具に保持して成膜を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、複数の枠体を有する第一の基板保持具を第二の基板保持具に載置し、前記第一の基板保持具の前記枠体で前記基板およびダミー基板を保持して成膜を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (2件)：

H01J9/02 , H01J11/02

FI (2件)：

H01J9/02 F , H01J11/02 B

Fターム (8件)：

5C027AA01 , 5C027AA03 , 5C027AA05 , 5C027AA07 , 5C040GC19 , 5C040GE09 , 5C040JA07 , 5C040JA34

引用特許：

審査官引用 (7件)

蒸着方法及び蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-138998 出願人：富士通株式会社
成膜装置および成膜装置に用いる防着部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-134538 出願人：三菱電機株式会社
薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-105051 出願人：株式会社島津製作所

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