基板の保持装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金本哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-060478
公開番号（公開出願番号）：特開平11-243133
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】基板を保持する基板の保持装置を高速で移動させても基板を落下させない基板の保持装置を提供する。【解決手段】ピンセットのフレーム部41aに備えられた各支持部材50a,50b,50bにおいて,テーパ面55aの上端に垂直壁56aを,テーパ面55bの上端に垂直壁56bを夫々設ける。ピンセットの移動によってウェハWの周縁部がテーパ面55bに沿って上昇しても,その周縁部が垂直面56bに突き当たって止まるため,ピンセットからのウェハWの落下を防止できる。

請求項（抜粋）：

基板の外周をその半周以上に渡って囲む形態のフレーム部と、このフレーム部の内周に設けられた複数の支持部材と、このフレーム部を支持するアーム部とを備え、前記支持部材は、基板の周縁部を滑降させて所定位置に案内する傾斜ガイドと、前記案内された基板の裏面を支持する裏面支持部とを有する,基板の保持装置において、前記傾斜ガイドの上端に、この傾斜ガイドと連続する垂直壁が形成されたことを特徴とする、基板の保持装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

処理装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277087 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
ウェーハ搬送プレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-151608 出願人：国際電気株式会社
基板ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-126266 出願人：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社

審査官引用 (3件)

処理装置及び搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-277087 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
ウェーハ搬送プレート
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-151608 出願人：国際電気株式会社
基板ホルダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-126266 出願人：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社

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