特許

J-GLOBAL ID：200903047510484233

自立型薄膜及びその製造方法

発明者： 小林 慶三 ,  松本 章宏 ,  西尾 敏幸
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-232876
公開番号（公開出願番号）：特開2004-068135
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】塩を主たる基板材料として自立型薄膜を製造する技術及び自立型薄膜を提供する。【解決手段】塩を主たる基板材料として使用し、金属、無機材料あるいは有機材料を50体積%以下添加あるいは表面に金属、無機材料あるいは有機材料の網を付着させることにより、基板上に膜を蒸着や溶解によって形成し、基板を水で溶解除去することによって基板と分離した自立型薄膜を作製する。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

多結晶のバルク状塩の基板上に、蒸着により膜を作製し、基板を溶解除去して薄膜を作製することを特徴とする自立型薄膜の製造方法。

IPC (1件)：

C23C14/00

FI (1件)：

C23C14/00 A

Fターム (11件)：

4K029AA01 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BB01 ,  4K029BB02 ,  4K029BC00 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029GA05

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 超弾性合金チューブの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-259083   出願人：三菱電線工業株式会社
• 垂直にナノ相互接続された回路デバイスからなる製品及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-324945   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
• 薄膜ステント
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-560295   出願人：マイクロ・セラピューティクス・インコーポレーテッド
• 薄膜製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-243776   出願人：株式会社東芝
• 特開昭53-140225
  
• 合金箔の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-319166   出願人：フォードグローバルテクノロジーズインコーポレーテッド