特許
J-GLOBAL ID：200903047577236820
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192011
公開番号（公開出願番号）：特開平11-019859
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：
【要約】【課題】対象物を,走行しかつ回転する研磨テープにより研磨またはクリーニングする研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置が,開口を有するベースプレートと,ベースプレートの開口内に配置され,ベースプレートに取り付けられるスピンドルと,スピンドルを回転させるための,ベースプレートに取り付けられる第1の回転手段と,スピンドルに取り付けられる一対の側壁と,側壁の間でその下方に取り付けられる,研磨テープを対象物に押し付けるための押付けローラーであって,スピンドルと押付けローラーとの間で,かつ側壁の間で,その側壁にそれぞれ取り付けられる供給および巻取りローラーと,側壁の間で,その側壁に取り付けられる,研磨テープを走行するための走行ローラーと,走行ローラーを回転させるための第2の回転手段と,から成る。押付けローラーの回転軸がスピンドルの軸線に対して垂直でかつ交差し,供給ローラーおよび巻取りローラーの軸線はスピンドルの軸線と交差しかつ押付けローラーの回転軸線と平行となる。
請求項（抜粋）：
研磨テープが走行しかつ回転する,研磨装置であって,開口を有するベースプレートと,該ベースプレートの前記開口内に配置され,前記ベースプレートに回転可能に取り付けられるスピンドルと,前記スピンドルを回転させるための,前記ベースプレートに取り付けられる第1の回転手段と,前記スピンドルに取り付けられる一対の側壁と,前記側壁の間でその下方に回転可能に取り付けられる,研磨テープを対象物に押し付けるための押付けローラーであって,前記スピンドルと前記押付けローラーとの間で,かつ前記側壁の間で,その側壁に回転可能に,それぞれ取り付けられる研磨テープ供給および巻取りローラーと,前記側壁の間で,その側壁に回転可能に取り付けられる,前記研磨テープを走行するための走行ローラーと,前記走行ローラーを回転させるための第2の回転手段と,から構成され,前記押付けローラーの回転軸が前記スピンドルの軸線に対して垂直でかつ交差し,前記押付けローラーの中央部分の直径がその両端部分の直径よりも小さく,前記供給ローラーおよび前記巻取りローラーの軸線が,それぞれ前記スピンドルの軸線と交差し,かつ前記押付けローラーの回転軸線と平行となり,研磨テープが前記供給ローラーから供給され,前記押付けローラーおよび前記走行ローラーを経て前記巻取りローラーに巻き取られる,ことを特徴とする研磨装置。
引用特許：
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