特許

J-GLOBAL ID：200903047668268627

加速度センサ

発明者： 鎗田 光男 ,  須藤 稔 ,  加藤 健二
出願人/特許権者： セイコーインスツル株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-304130
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070018
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】 小型で感度が高い半導体容量型センサを提供すること。【解決手段】 検出電極に対面する錘の表面積を大きくしてセンサを小型化しても検出感度を高めるようにする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電極パターンが設けられた第一のガラス板および第二のガラス板と、加速度をうけて変位する錘を有したシリコン板を備え、前記錘の上部の形状と下部の形状が異なることを特徴とする半導体容量式加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84

FI (5件)：

G01P15/125 Z ,  B81B3/00 ,  G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (20件)：

2F105AA02 ,  2F105BB02 ,  2F105BB13 ,  2F105BB14 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA09 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 加速度センサ及びそれを使用したエアバッグ装置並びに車体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063912   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (4件)

• 半導体加速度センサならびにその検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-332172   出願人：オムロン株式会社
• 特開平4-299227
  
• センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-134361   出願人：株式会社ワコー
• 加速度センサ及び加速度センサの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-203914   出願人：沖電気工業株式会社