特許
J-GLOBAL ID：200903068234679332
加速度センサ及び加速度センサの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-203914
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049130
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】小型かつ検出感度の高い加速度センサを提供することにある。【解決手段】錘部8と、錘部8の周囲を囲んで配置された台座部9と、全周において台座部9の幅よりも狭く形成された支持部3と、支持部3の内側において錘部8を固定する質量部2と、支持部3と質量部2とを接続しかつ支持部3側の端部付近において台座部9に重なっている梁部4と、梁部4の台座部9に重なっている部分と台座部9との間に所定の隙間を形成するように、支持部3と台座部9との間に配置された周辺中間膜12を備える加速度センサ。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
錘部と、前記錘部の周囲を囲んで配置された台座部と、
前記台座部に沿って配置され、かつ、全周において前記台座部の幅よりも狭く形成された支持部と、
前記支持部の内側において前記錘部を固定する質量部と、
前記支持部と前記質量部とを接続し、かつ、前記支持部側の端部付近において前記台座部に重なっている梁部と、
を備えた加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P15/12
, G01P15/09
, G01P15/125
, H01L29/84
G01P15/12 D
, G01P15/09 D
, G01P15/125 Z
, H01L29/84 A
4M112AA02
, 4M112BA01
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA27
, 4M112CA31
, 4M112CA33
, 4M112DA02
, 4M112DA04
, 4M112DA09
, 4M112DA11
, 4M112DA18
, 4M112EA07
, 4M112EA11
, 4M112EA18
, 4M112FA01
, 4M112FA20
