特許
J-GLOBAL ID：200903047801647946
マイクロマシーン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011650
公開番号（公開出願番号）：特開2003-211396
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：
【要約】【課題】 量産性があって、欠陥が少なく、信頼性の高いマイクロマシーンおよびその作製法を得る。【解決手段】 ニッケルの硫黄化合物微粒子を触媒とし、高温下で炭化水素ガスを導入し、特定方向に電界をかけながら、化学的気相成長法によってカーボンナノチューブを作製する。触媒11は基板10上に種々の方法で微粒子化させることによって、欠陥が少なく直線性のよいカーボンナノチューブ4が得られる。さらに、保持材5によりカーボンナノチューブ4を被覆して梁6とし、両端もしくは一端をリブ3に固定し、中間に可動電極7を固着させ、基板1上の固定電極2と対向させる。そのため可動電極7と固定電極2間に電圧を印加し静電引力によって可動電極7を駆動した場合にも、梁6は可動電極7とリブ3から外れない。
請求項（抜粋）：
リブ上の梁によって架橋される可動電極と、該可動電極と所定の空隙を持って配置される固定電極とからなるマイクロマシーンにおいて、梁はカーボンナノチューブとカーボンナノチューブを被覆する保持材とからなり、かつ梁の長手方向にカーボンナノチューブが配向していることを特徴とするマイクロマシーン。
IPC (3件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/08
B81B 3/00
, B81C 1/00
, G02B 26/08 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
