特許
J-GLOBAL ID：200903079738620624
走査型プローブ顕微鏡用のプローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093515
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281124
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：
【要約】【課題】 AFMのティップと光プローブの両方の機能を持ち、AFMモードでイメージを取る場合、像の分解能が低下しないプローブを提供する。【解決手段】 SNOMとAFMの共用のカンチレバーであり、 カンチレバーのティップ3部分に波長より短い直径の開口を有し、この開口から所定の位置にAFM測定用の突起[3-3]を有し、この突起[3-3]がカーボンナノチューブであることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
微細な探針(ティップ)つき片持ち梁(カンチレバー)で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査プローブ顕微鏡において走査プローブ顕微鏡のプローブとしてプローブ先端に、光の波長よりも短い直径の開口あるいは、光に透明な物質の窓があり、その開口あるいは窓の中心から所定の距離に探針用の突起を有するカンチレバーを設けたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
IPC (5件)：
G01N 13/16
, G01B 7/34
, G01N 13/14
, G12B 21/08
, G12B 21/06
G01N 13/16 C
, G01B 7/34 Z
, G01N 13/14 B
, G12B 1/00 601 D
, G12B 1/00 601 C
2F063AA43
, 2F063CA08
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DD02
, 2F063EC06
, 2F063EC13
, 2F063EC14
, 2F063LA27
