ガスセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須田正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-062960
公開番号（公開出願番号）：特開2009-236910
出願日： 2009年03月16日
公開日（公表日）： 2009年10月15日
要約：

【課題】目標ガス濃度を高い精度で測定することを可能にするガスセンサ。【解決手段】ガスセンサ1は表面領域9を備えたガスセンシティブな層7を有し、その表面領域内で仕事関数が表面領域9と接触可能な目標ガスの濃度に依存している。表面領域9にエアギャップ8を介して電位センサ27が容量的に結合されている。ガスセンシティブな層7の表面領域9は目標ガスについて不活性の電気的に絶縁するコーティング18によって覆われており、そのコーティングがガスセンシティブな層7と付着結合されている。コーティング18は目標ガス及びそれとは異なる表面領域9に吸着可能な他のガスについて透過性であるように形成されている。コーティング18は目標ガスと他のガスについて、異なる拡散定数を有している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの表面領域(9)を備えた、少なくとも1つのガスセンシティブな層(7)と、エアギャップ(8)を介して表面領域(9)と容量的に結合された、少なくとも1つの電位センサ(27)とを有し、前記表面領域内で仕事関数が、表面領域(9)と接触可能な目標ガスの濃度に依存する、ガスセンサ(1)において、ガスセンシティブな層(7)の表面領域(9)が、目標ガスについて不活性の、電気的に絶縁するコーティング(18)によって覆われており、前記コーティングがガスセンシティブな層(7)と付着結合され、かつ次のように、即ち目標ガス及びそれとは異なる、表面領域(9)に吸着可能な他のガスについて透過性であるように、形成されており、コーティング(18)が、目標ガスと他のガスについて、異なる拡散定数を有し、かつ拡散定数が次のように、即ち他のガスが存在する場合に、目標ガスの濃度が予め定められた濃度しきい値(19)を上回った場合に、目標ガスについてのガスセンサ(1)の測定感度が増加するように、互いに調整されていることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/414

FI (2件)：

G01N27/30 301F , G01N27/30 301V

引用特許：

審査官引用 (6件)

特許第4333875号
特許第6634213号
特開昭58-129239

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