特許
J-GLOBAL ID：200903048060237334

金属膜作製装置のクリーニング方法及び金属膜作製装置

発明者：
坂本 仁志

坂本 仁志 について

, 
松田 竜一

松田 竜一 について

, 
八幡 直樹

八幡 直樹 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351153
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155568
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 成膜処理によりチャンバ内周面に付着した付着物を除去するクリーニングを良好に行い得るクリーニグ方法を提供する。【解決手段】 クリーニング用プラズマアンテナ23に通電することによりチャンバ1の基板3側の付着物26に臨む空間に水素ガスプラズマを形成して、この付着物26を還元し、その後付着物26を周囲より高温に保持した状態で、同部分にCl2 ガスプラズマを形成することにより、このCl2 ガスプラズマで付着物26をエッチングしてこれを除去するようにした。
請求項（抜粋）：
内部に基板を収容するチャンバに高蒸気圧ハロゲン化物を作る金属で形成した被エッチング部材を配設する一方、この被エッチング部材と前記基板の温度とを所定の温度及び温度差に制御することにより、前記チャンバ内のハロゲンを含有する原料ガスプラズマで前記被エッチング部材をエッチングして金属成分と原料ガスとの前駆体を形成し、この前駆体の金属成分を基板に析出させて所定の成膜を行う金属膜作製装置のクリーニング方法であって、先ず、前記チャンバ内に水素プラズマを形成するか、又は水素プラズマを供給してチャンバの内周面に付着する前記金属のハロゲン化物を還元し、その後、前記チャンバ内にハロゲンガスプラズマを形成するか、又はハロゲンガスプラズマを供給するとともに、クリーニングで除去する前記金属の温度を周囲温度よりも高く保持することによりこの金属を前記ハロゲンガスプラズマによるエッチングにより除去するようにしたことを特徴とする金属膜作製装置のクリーニング方法。
IPC (3件)：
C23C 16/44 ,  H01L 21/285 ,  C23C 16/448
FI (3件)：
C23C 16/44 J ,  H01L 21/285 C ,  C23C 16/448
Fターム (10件)：
4K030AA03 ,  4K030BA01 ,  4K030DA06 ,  4K030EA01 ,  4K030FA04 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104DD44
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM