特許
J-GLOBAL ID：200903048078377966

自己相関計

発明者：
須田 亮

須田 亮 について

, 
緑川 克美

緑川 克美 について


出願人/特許権者：
理化学研究所

理化学研究所 について


代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-298402
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106903
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】極端紫外域や軟X線領域の短波長を含む幅広い波長域においてパルス光のパルス幅を測定することができるようにする。【解決手段】被測定光のビームのパルス幅を測定する自己相関計において、被測定光のビームを反射する反射面を備えた固定ミラーと、上記固定ミラーに隣接するとともに上記被測定光のビームを反射する反射面を備え、かつ、該反射面が上記固定ミラーの反射面と上記被測定光のビームの光路方向においてずれを生ずるように移動自在に配置された可動ミラーと、上記固定ミラーと上記可動ミラーとから反射されたビームを集光する集光ミラーと、上記集光ミラーにより集光されたビームの入射に基づいて自己相関信号を発生する自己相関信号発生手段と、上記自己相関信号発生手段により発生された自己相関信号を検出する検出手段とを有し、上記固定ミラーと上記可動ミラーとの境界を跨ぐように上記被測定光のビームを入射する。
請求項（抜粋）：
被測定光のビームのパルス幅を測定する自己相関計において、被測定光のビームを反射する反射面を備えた固定ミラーと、前記固定ミラーに隣接するとともに前記被測定光のビームを反射する反射面を備え、かつ、該反射面が前記固定ミラーの反射面と前記被測定光のビームの光路方向においてずれを生ずるように移動自在に配置された可動ミラーと、前記固定ミラーと前記可動ミラーとから反射されたビームを集光する集光ミラーと、前記集光ミラーにより集光されたビームの入射に基づいて自己相関信号を発生する自己相関信号発生手段と、前記自己相関信号発生手段により発生された自己相関信号を検出する検出手段とを有し、前記固定ミラーと前記可動ミラーとの境界を跨ぐように前記被測定光のビームを入射する自己相関計。
IPC (2件)：
G01J 11/00 ,  G02F 1/37
FI (2件)：
G01J 11/00 ,  G02F 1/37
Fターム (18件)：
2G065AA04 ,  2G065AA12 ,  2G065AB09 ,  2G065AB11 ,  2G065AB14 ,  2G065AB16 ,  2G065BA40 ,  2G065BB11 ,  2G065BB45 ,  2G065BB46 ,  2K002AA04 ,  2K002AB22 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EA30 ,  2K002GA10 ,  2K002HA20
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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