特許
J-GLOBAL ID：200903048081318334
ダイピックアップ装置及びダイピックアップ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
相澤 清隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-286448
公開番号（公開出願番号）：特開2004-128010
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】ピックアップしようとしているダイとマッピングデータ上のダイとがずれてしまうことを防止し、生産タクトの向上を図ること。【解決手段】吸着装填ノズルによりピックアップするダイ供給テーブル上のダイを撮像する認識カメラと、該認識カメラにより撮像した画像を認識処理する認識処理装置と、ウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータを格納するRAMと、ダイ供給テーブル上のピックアップされるべきダイを認識カメラで撮像して認識処理装置で認識処理した際に、当該ダイにバンプが無い場合には、認識処理した結果とRAMに格納されたマッピングデータと比較して、不一致であると判断したときには運転を停止するように制御するCPUとを設けた。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
ウエハテーブル上のダイを取出具によりピックアップするダイピックアップ装置において、前記ウエハテーブル上のピックアップすべきダイを撮像する部品認識カメラと、該部品認識カメラにより撮像した画像を認識処理する認識処理装置と、ウエハにおける各ダイについての良品・不良品情報及びバンプ有・無情報であるマッピングデータを格納する記憶装置と、前記ウエハテーブル上のピックアップされるべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理した際に当該ダイにバンプが無い場合には前記認識処理した結果と前記記憶装置に格納されたマッピングデータとを比較して不一致であると判断したときには運転を停止するように制御する制御装置とを設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 E
, H01L21/52 F
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031GA23
, 5F031GA36
, 5F031GA47
, 5F031GA49
, 5F031GA50
, 5F031HA78
, 5F031JA04
, 5F031JA22
, 5F031JA51
, 5F031PA02
, 5F031PA30
, 5F047FA74
, 5F047FA75
