特許
J-GLOBAL ID：200903048210867447
ダイシング装置の加工状態表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠藤 善二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336257
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156668
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【目的】 ダイシング装置において切削加工された半導体ウエハの切断線を測定検出毎の品質のデータ値の履歴を時系列的に正常値に対する許容範囲と共に線図的に表示して、作業者の適正な対応を容易に可能ならしめる。【構成】 ダイシング装置の加工状態表示装置10は、顕微鏡11で拡大された半導体ウエハWの切断線の画像を検知するCCDカメラ12からの切断線の画像信号を画像処理装置10が処理した切断線測定検出データがCPU4に入力され、メモリ14に入力記憶され、メモリに入力記憶された切断加工量が所定量に達する毎に測定検出された切断線測定検出データのうちの最新の所定回数分と半導体ウエハの切断線の諸元の正常値及びその許容値とが呼び出され、それがCRT15に線図的に表示されるようになっている。
請求項（抜粋）：
制御装置によりX軸線方向及びY軸線方向に夫々送り駆動される半導体ウエハ載置用のテーブル及びテーブル上の半導体ウエハを切断する切断刃装置を具備したダイシング装置において、顕微鏡で拡大された半導体ウエハの切断線を撮像するCCDカメラ、CCDカメラからの切断線の画像信号を処理して切断線測定検出データをCPUへ出力する画像処理装置、半導体ウエハの切断線の諸元の許容値が予め入力記憶されると共に、測定検出毎の半導体ウエハの切断線測定検出データが順次入力記憶されるメモリ、切断加工量が所定量に達する毎に半導体ウエハの切断線の測定検出を行わせ、メモリから半導体ウエハの切断線の諸元の許容値及び切断線の画像測定検出データの最新の所定回数の入力記憶分を呼び出し、CRTコントローラに表示制御信号を入力するCPU、CPUからの半導体ウエハの切断線の諸元の許容値並びに最新の所定検出回数の切断線の画像測定検出データが入力されるCRTコントローラ、 CRTコントローラからの切断線画像測定検出データに基づく線図データにより半導体ウエハの切断線の諸元の許容値並びに最新の所定検出回数の切断線の画像測定検出データを線図状に表示するCRTから構成されている加工状態表示装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 17/24 A
, H01L 21/78 N
