特許
J-GLOBAL ID:200903048220149380
メッキ造形物製造用ポジ型感放射線性樹脂組成物、転写フィルムおよびメッキ造形物の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-039741
公開番号(公開出願番号):特開2007-256935
出願日: 2007年02月20日
公開日(公表日): 2007年10月04日
要約:
【課題】感度や解像性などに優れるとともに、基板との密着性に優れ、現像後に開口部に残渣を発生させず、メッキ時にメッキ液を汚染せず、メッキ後の樹脂膜のクラック発生を抑制することができ、かつメッキの樹脂膜への押し込みを抑制し、さらにレジストの浮きを解消することができるポジ型感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いた転写フィルム、およびバンプや配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るメッキ造形物製造用ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)少なくとも1つの末端が-SR基(Rは炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは炭素数3〜20の環状のアルキル基またはその誘導体を示す)を有し、酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する構造単位を有する重合体、(B)感放射線性酸発生剤、および(C)有機溶媒を含有することを特徴とする。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)少なくとも1つの末端が-SR基(Rは炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは炭素数3〜20の環状のアルキル基またはその誘導体を示す)を有し、酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する構造単位を含む重合体、
(B)感放射線性酸発生剤、および
(C)有機溶媒
を含有することを特徴とするメッキ造形物製造用ポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/039
, G03F 7/004
, C08F 220/00
, H01L 21/027
FI (4件):
G03F7/039 601
, G03F7/004 512
, C08F220/00
, H01L21/30 502R
Fターム (32件):
2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BF02
, 2H025BF15
, 2H025BG00
, 2H025EA08
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J100AB07P
, 4J100AL03R
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08T
, 4J100AL62T
, 4J100AM21S
, 4J100BA03P
, 4J100BA03S
, 4J100BA08T
, 4J100BC27Q
, 4J100BC43S
, 4J100BC43T
, 4J100CA03
, 4J100CA06
, 4J100JA38
引用特許: