特許
J-GLOBAL ID：200903048234588930

基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者：
太田 雄一郎

太田 雄一郎 について


出願人/特許権者：
富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社

富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 について


代理人 (1件)： 横山 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236722
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051525
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】【課題】 搬送カセット内に撓みある状態で狭ピッチに収納された基板を扱うことができて、装置の大型化が回避される搬送装置及び搬送方法を提供する。【解決手段】 3本のハンドアーム8a,8b,8cの位置及び角度を、基板の種類(材質,大きさ、厚さ)に応じて変化させ、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板7を、撓んだ状態のまま取り出す。その後、ハンドアーム8a,8b,8cを移動させて基板7を平坦にし、他の装置に搬送する。
請求項（抜粋）：
基板を搬送カセットに出し入れする搬送装置において、前記基板の両端部をそれぞれ支持する第1及び第2のハンドアームと、前記第1のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第1の回転機構と、前記第2のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第2の回転機構とを有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 E
Fターム (42件)：
3C007AS01 ,  3C007AS14 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CT04 ,  3C007CT05 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS02 ,  3C007ES04 ,  3C007EV05 ,  3C007HS26 ,  3C007HS27 ,  3C007HT11 ,  3C007LS11 ,  3C007LV03 ,  3C007LV06 ,  3C007LV14 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA17 ,  5F031GA05 ,  5F031GA06 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031LA12 ,  5F031MA13 ,  5F031MA33 ,  5F031PA13 ,  5F031PA16 ,  5F031PA18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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