特許
J-GLOBAL ID：200903074718121484

ワーク用チャック装置

発明者：
箱守 駿二

箱守 駿二 について

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相澤 智宏

相澤 智宏 について

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市川 真也

市川 真也 について

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青柳 仁志

青柳 仁志 について


出願人/特許権者：
スピードファム株式会社

スピードファム株式会社 について


代理人 (3件)： 林 宏 ,  後藤 正彦 ,  林 直生樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-334891
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142220
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】構造が簡単でコストも安くかつ様々な径のワークにも容易に対応することができる、合理的設計構造を備えたワーク用チャック装置を提供する。【解決手段】真空源に通じる吸引孔8を中央に備えたチャックテーブル3の円形のテーブル面3aに、テーブル面3aと同等以上の大きさを有する支持プレート4を介して吸着パッド5を取り付け、支持プレート4の中央部に吸引孔8に通じる中継孔を形成し、吸着パッド5に、中継孔9を取り囲む複数の環状の吸着溝を同心状に形成すると共に、これらの吸着溝と中継孔とを連通させるための連通溝を放射状に形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空源に通じる吸引孔を中央に有するチャックテーブルの円形のテーブル面に、該テーブル面と同等以上の大きさを有する支持プレートを介して吸着パッドを取り付け、該支持プレートに上記吸引孔に通じる中継孔を形成すると共に、吸着パッドに、該中継孔を取り囲むように位置してこの中継孔に連通する環状の吸着溝を形成したことを特徴とするワーク用チャック装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 P ,  H01L21/304 622H
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA14 ,  5F031HA50 ,  5F031HA59 ,  5F031MA22 ,  5F031PA13 ,  5F031PA16 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)

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