特許
J-GLOBAL ID：200903048420264664
粒子光学静電レンズ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
松原 伸之
, 村木 清司
, 中山 健一
, 橋本 千賀子
, 松嶋 さやか
, ▲高▼部 育子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281985
公開番号（公開出願番号）：特開2005-108842
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】特にレンズが占有するスペースを縮減することによって、静電レンズ系の磁気シールドを容易にする。【解決手段】荷電粒子ビーム露光装置において、静電レンズ(ML)は、粒子ビーム光路を回転対称(EFR,EM,EFN)で取り囲むいくつかの(少なくとも3つの)電極を備えており;該電極は、前記粒子ビーム光路の中心をあらわす共通の光軸上に同軸的に配置され且つ給電系を通して異なる静電電位が供給される。前記電極(EM)の少なくとも一つのサブセット(部分集合)は、前記光軸に沿って連続的に整列して配置された実質的に同等の形状の一連の電極として具現される電極列を形成しており、前記電極列の前記電極(EM)の外側部分は、次および前の電極に向かって、それぞれ対峙している対応する対向面(f1,f2)の外側部分(OR)を有している。望ましくは、前記電極の長さは、前記面(f1,f2)の内側半径(ri1)の少なくとも4.1倍(3倍)である。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
粒子ビーム光路を回転対称(EFR,EM,EFN)で取り囲む少なくとも3つの電極を備えており、該電極は、前記粒子ビーム光路の中心をあらわす共通の光軸上に同軸的に配置され、且つ前記電極にそれぞれ異なる静電電位を供給するための給電系が設けられている、荷電粒子ビーム露光装置における静電レンズ(ML)において、
前記電極(EM)の少なくとも一つのサブセット(部分集合)は、前記光軸に沿って連続的に整列して配置された実質的に同等の形状の一連の電極として具現される電極列を形成しており、前記電極列の前記電極(EM)の外側部分(OR)は、次および前の電極に向かって、それぞれ対峙している対応する対向面(f1,f2)を有することを特徴とする静電レンズ。
IPC (4件)：
H01J37/305
, H01J37/09
, H01J37/12
, H01L21/027
H01J37/305 B
, H01J37/09 Z
, H01J37/12
, H01L21/30 541A
5C033CC06
, 5C034BB02
, 5C034BB10
, 5F056EA05
, 5F056EA18
出願人引用 (2件)
-
米国特許US4,985,634号公報
-
米国特許公開US2003-0155534-A1号公報
審査官引用 (6件)
全件表示
引用文献：
前のページに戻る
