特許
J-GLOBAL ID：200903079818673990
荷電粒子線加速装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-055942
公開番号（公開出願番号）：特開2001-243908
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】荷電粒子線加速装置において、加速電圧を大きく変化させる時に、加速電圧と制御電圧が独立に制御されていると、変化の過程で多段加速管の特定の段間電圧が大きくなり、放電を引き起こすという問題があった。【解決手段】加速電圧の変化に連動させながら制御電圧を変化させることにより、多段加速管の各段の電圧が上限値より大きくならないように制御する。【効果】荷電粒子加速器において加速電圧が大きく変化した場合でも、放電等による荷電粒子源等の破壊を防止することができる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線7を発生する荷電粒子源1と、上記荷電粒子源より荷電粒子線を引き出す引出電極3と、上記荷電粒子線の軌道を制御するための制御電極4と、上記制御電極を1段目としたN段の電極により上記荷電粒子線を加速する多段加速管2により構成される荷電粒子線加速装置において、加速電圧(V0)の変化に連動して上記加速管の段間電圧(Va,Vb)を制御することを特徴とする荷電粒子線加速装置。
Fターム (2件)：
引用特許：
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