特許
J-GLOBAL ID：200903048423949676
フッ化物結晶及び光学部品並びに製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-048415
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330114
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、エキシマレーザに対する透過率が高く且つ高出力レーザに対する耐久性の優れたフッ化物結晶、その製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明のフッ化物結晶は、Zn,Cd,Pb,Li,Bi,Naから選択される少なくとも1種の原子を含み、含有量が10ppm以下であり、且つ135nmの光に対する内部透過率が70%以上であることを特徴とする。本発明のフッ化物結晶製造方法は、フッ化物原料にスカベンジャーを添加して行う精製工程を少なくとも1回行った後、精製した原料にスカベンジャーを添加してルツボ降下法により結晶成長させるフッ化物結晶の製造方法であって、前記スカベンジャーの添加量を、第1回の精製工程において前記原料の0.04〜0.1mol%以下とし、その後の精製工程及び結晶成長工程において添加するスカベンジャーの総添加量を前記添加量の10%〜50%とすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
Zn,Cd,Pb,Li,Bi,Naから選択される少なくとも1種の原子を含み、その含有量が10ppm以下であり、且つ135nmの波長の光に対する内部透過率が70%以上であることを特徴とするフッ化物結晶。
IPC (5件)：
C01F 11/22
, C01B 9/08
, C03C 3/32
, C30B 29/12
, G02B 1/02
C01F 11/22
, C01B 9/08
, C03C 3/32
, C30B 29/12
, G02B 1/02
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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