特許
J-GLOBAL ID：200903048450537258
レーザ光源および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-051999
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251661
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】レーザ光源を構成する個々のレーザを個別に取り出すことによって、再調整、修理等のメンテナンスを容易にすることが可能なレーザ光源を提供する。【解決手段】複数本の小型レーザを収容した筐体12と、該筐体12が並列に配置されるように支持及び収納する構造体11とを備え、構造体11には、筐体12を抜き差し可能に収納するための、格子状に配列されたスロットが形成され、各筐体12を構造体11の各スロットに、先端から予め定めた位置まで差し込んだ構成をもって、レーザ光源としている。
請求項（抜粋）：
少なくともレーザを筐体内に収納して光源要素を形成し、前記光源要素を複数並列に配置したレーザ光源において、前記光源要素をそれぞれ所定の位置でかつ前記光源要素から放射される光を所定の方向に放射するように支持する構造体とを備え、前記構造体は、前記光源要素を個別に着脱可能な支持構造を有していることを特徴とするレーザ光源。
IPC (4件)：
H01S 3/00
, G02F 1/37
, G03F 7/20 503
, H01S 3/23
H01S 3/00 B
, H01S 3/00 G
, G02F 1/37
, G03F 7/20 503
, H01S 3/23 Z
