特許

J-GLOBAL ID：200903048462211064

基板移載装置

発明者： 鈴木 孝久 ,  上野 光 ,  村上 弘記 ,  星野 修二
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-227943
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 可動部分が小さいシンプルな構造で大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペースが小さく、移載距離が大きい場合でも高精度で移載でき、かつ必要動力が小さい基板移載装置を提供する。【解決手段】 水平に支持された平板状の基板1を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置。搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる搬入ハンド10と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる搬出ハンド12とを備える。搬入ハンド及び搬出ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Xにそれぞれ水平移動可能かつ上下動可能であり、かつ前記中間位置で互いに上下に交叉可能であり、更にその一方が下降している際に、他方が上昇してX方向に水平移動可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

水平に支持された平板状の基板(1)を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる搬入ハンド(10)と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで移動させる搬出ハンド(12)とを備え、前記搬入ハンド及び搬出ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Xにそれぞれ水平移動可能かつ上下動可能であり、かつ前記中間位置で互いに上下に交叉可能であり、更にその一方が下降している際に、他方が上昇してX方向に水平移動可能に構成されている、ことを特徴とする基板移載装置。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ,  B25J 9/06 ,  B65G 47/52 101

FI (3件)：

B65G 49/06 Z ,  B25J 9/06 D ,  B65G 47/52 101 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-245914   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 搬送装置および搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-045061   出願人：株式会社荏原製作所
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345149   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-303690   出願人：株式会社東芝