特許

J-GLOBAL ID：200903048602512337

変位測定装置

発明者： 山本 裕之 ,  渡辺 文雄 ,  岡本 和年
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373588
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205308
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】測定対象を照射する照明系と測定対象の反射光を測定する結像光学系が小型一体化できて組立調整工数を大幅に削減でき、測定対象上に鮮明なガイドマーク投影が行えるとともに測定に十分な明るさで照射できる変位測定装置を提供すること。【解決手段】測定対象の変位量を光学的に測定する変位測定装置であって、少なくとも、光源の出力光を伝送するライトガイドとこのライトガイドの出力光を集光して測定対象を照射する集光レンズを含む照明系と、測定対象の反射光を受光センサ面に結像させる結像光学系とが共通のベースに取り付けられたことを特徴とするもの。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

測定対象の変位量を光学的に測定する変位測定装置であって、 少なくとも、 光源の出力光を集光して測定対象を照射する集光レンズを含む照明系と、 測定対象の反射光を受光センサ面に結像させる結像光学系とが、 共通のベースに取り付けられたことを特徴とする変位測定装置。

IPC (1件)：

G01B11/00

FI (1件)：

G01B11/00 A

Fターム (22件)：

2F065AA03 ,  2F065AA09 ,  2F065AA19 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL02 ,  2F065LL30 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 光学検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-105785   出願人：オー・アール・ビー・オー・テーシステムズリミテツド
• 圧延ロールの光学式表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-203908   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 光合成方法及び合成出射光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-317848   出願人：住友重機械工業株式会社
• 特開昭63-215906
  
• 特開昭62-261908
  
• 特開平2-036359
  
• はんだボールの整列検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-171234   出願人：日立ビアメカニクス株式会社
• 光学顕微鏡用照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-203637   出願人：オリンパス光学工業株式会社