定盤の製造方法及び平面研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：林宏 , 後藤正彦 , 林直生樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-258779
公開番号（公開出願番号）：特開2006-068888
出願日： 2004年09月06日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】円形の研磨パッドを使用し、この研磨パッドを定盤のパッド貼着面に偏心状態に貼着することにより、ワークを研磨パッドからオーバーハングさせながら研磨するのに適した構成の定盤を得る。【解決手段】定盤1における円形のパッド貼着面7と略同径をなす円形の両面接着シート13の片面に、この接着シート13より小径の円形をした研磨パッド11を、該接着シート13から外側にはみ出さない範囲内で偏心状態に貼着し、この接着シート13を定盤1の上記パッド貼着面7に同心状に接着することにより、このパッド貼着面7に上記研磨パッド11を偏心状態に貼着すると共に、このパッド貼着面7の研磨パッド11で覆われていないパッド非貼着部16,17を上記接着シート13で覆う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

定盤における円形のパッド貼着面と略同径をなす円形の両面接着シートの片面に、この接着シートより小径の円形をした研磨パッドを、該接着シートから外側にはみ出さない範囲内で偏心状態に貼着し、この接着シートを定盤の上記パッド貼着面に同心状に接着することにより、このパッド貼着面に上記研磨パッドを偏心状態に貼着すると共に、このパッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部を上記接着シートで覆うことを特徴とする定盤の製造方法。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H01L 21/304

FI (5件)：

B24B37/00 C , B24B37/04 A , B24B37/04 F , H01L21/304 621A , H01L21/304 622F

Fターム (7件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA11 , 3C058CB01 , 3C058CB04 , 3C058DA06 , 3C058DA18

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウェーハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-259581 出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社

審査官引用 (4件)

特開平1-121159
研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-130277 出願人：千代田株式会社
CMP用偏心溝付き研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-036869 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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