特許
J-GLOBAL ID：200903048767207792

電気めっき方法、電気めっき装置および電子部品

発明者：
楫野 隆

楫野 隆 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324468
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129496
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】【課題】 プリント基板やウエハ等の板状の被めっき物に対し電気めっきを行うに際し、大面積にわたって一様な撹拌効果を容易かつ再現性よく実現する。また、線条導体を有する平面コイル等の電子部品において、線条導体の幅および高さを、線条導体の延びる方向によらずほぼ一定とする。【解決手段】 複数の孔が設けられた板状体である撹拌子を、アノードとカソードとの間に配置すると共に、アノードとカソードとを結ぶ方向に対しほぼ垂直な面内で揺動させながら電気めっきを行う電気めっき方法。
請求項（抜粋）：
複数の孔が設けられた板状体である撹拌子を、アノードとカソードとの間に配置すると共に、アノードとカソードとを結ぶ方向に対しほぼ垂直な面内で揺動させながら電気めっきを行う電気めっき方法。
IPC (3件)：
C25D 21/10 301 ,  H01F 41/04 ,  H01L 21/288
FI (3件)：
C25D 21/10 301 ,  H01F 41/04 C ,  H01L 21/288 E
Fターム (3件)：
4M104BB04 ,  4M104DD52 ,  5E062DD01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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