特許

J-GLOBAL ID：200903048842032065

表面形状測定装置

発明者： 野沢 雅人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-056796
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254728
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、高速で移動する表面形状を高精度で測定することができる表面形状測定装置を提供するものである。【解決手段】被測定物7の移動方向(X軸方向)とほぼ直交する測定基準軸方向(Y軸方向)に対して、距離計測検出部の仮想走査基準軸6iをθ°傾斜するように前記距離計測検出部を配置する。距離計測検出部からの信号を距離計測信号処理手段を介して位置ずれ補正して形状判定手段により被測定物の表面形状を判定する。

請求項（抜粋）：

移動する被測定物の表面形状を光学的に走査し、所定のピッチで距離を計測することにより得られる距離信号から被測定物の表面形状を測定する表面形状測定装置において、光点走査器および受光器で構成される距離計測検出部と、前記距離計測検出部からの信号を第1の距離信号に変換する距離計測信号処理手段と、前記第1の距離信号の被測定物の移動方向に対してほぼ直交する測定基準軸向に対する位置ずれを補正する位置ずれ補正手段と、前記位置ずれ補正後の第2の距離信号から被測定物の表面形状を判定する形状判定手段とを有し、前記距離計測検出部は、その仮想走査基準軸が前記被測定物の仮想基準面上で前記測定基準軸方向に対して傾斜するように設定配置したことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  B21C 51/00

FI (2件)：

B21C 51/00 L ,  G01B 11/24 G

Fターム (16件)：

2F065AA06 ,  2F065AA22 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065HH04 ,  2F065LL28 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065TT03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 物体の体積測定方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-000278   出願人：データロジック・エス・ペー・アー
• 周期欠陥検出方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-190566   出願人：東レ株式会社
• 高さ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-013002   出願人：東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
• 距離計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-037702   出願人：株式会社東芝