特許
J-GLOBAL ID:200903048960263705
放射線撮像装置の製造方法及び放射線撮像システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山下 穣平
, 志村 博
, 永井 道雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-109726
公開番号(公開出願番号):特開2007-285709
出願日: 2006年04月12日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】接着層中の気泡による画像欠陥を低減して画像品位を向上させるとともに、製品毎の接着層厚みのばらつきを抑えて安定な品質を保証することを目的とする。【解決手段】光電変換素子が形成される光電変換素子部が接着された基台である光電変換パネルに、放射線を光に変換するシンチレータを透明接着剤で貼り合わせる放射線撮像装置の製造方法において、大気圧雰囲気下で、シンチレータ又は光電変換パネルに透明接着剤を塗布する工程と、減圧雰囲気下で、シンチレータと光電変換パネルとを貼り合わせる工程と、雰囲気を大気圧雰囲気に戻した上で、透明接着剤を硬化させる工程と、を含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光電変換素子が複数形成される光電変換素子部が基台に接着された光電変換パネルに、放射線を光に変換するシンチレータを透明接着剤で貼り合わせる放射線撮像装置の製造方法において、
大気圧雰囲気下で、前記シンチレータ又は前記光電変換パネルに前記透明接着剤を塗布する工程と、
減圧雰囲気下で、前記シンチレータと前記光電変換パネルとを貼り合わせる工程と、
雰囲気を大気圧雰囲気に戻した上で、前記透明接着剤を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする放射線撮像装置の製造方法。
IPC (4件):
G01T 1/20
, H01L 27/14
, H01L 31/09
, H04N 5/32
FI (7件):
G01T1/20 G
, H01L27/14 K
, H01L27/14 D
, G01T1/20 E
, H01L31/00 A
, H04N5/32
, G01T1/20 C
Fターム (31件):
2G088EE01
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088JJ05
, 2G088JJ10
, 2G088JJ33
, 2G088JJ37
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118BA09
, 4M118CA05
, 4M118CA11
, 4M118CB11
, 4M118EA01
, 4M118FA06
, 4M118FB09
, 4M118HA02
, 4M118HA11
, 4M118HA24
, 4M118HA25
, 4M118HA29
, 5C024AX12
, 5C024CY47
, 5C024GX09
, 5F088AA03
, 5F088AB05
, 5F088BB07
, 5F088JA03
, 5F088JA17
, 5F088JA20
, 5F088LA08
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-036132
出願人:キヤノン株式会社
審査官引用 (6件)
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