複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077994
公開番号（公開出願番号）：特開2003-211030
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年07月29日
要約：

【要約】【課題】微粒子を含むエアロゾルを高速で基材に吹き付けてダイレクトに複合構造物を形成させる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることができる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置を提供する。【解決手段】上記複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、エアロゾル搬送管及びノズルを加熱する手段を配設し、エアロゾル搬送管内壁及びノズル内壁を加熱することにより、エアロゾル搬送管内壁及びノズル内壁への微粒子や凝集粒の付着を大幅に抑制させることができ、また付着した凝集粒の再飛散によって生じる構造物の欠陥も低減させることができた。さらに、微粒子を十分に加速させることで基材への構造物の形成速度を向上させることができた。その結果、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることが可能となった。

請求項（抜粋）：

微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをエアロゾル搬送管を通してノズルから噴射し、基材に吹き付けて微粒子の材料からなる構造物を基材上に形成させることによって基材と構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物作製方法において、少なくとも前記エアロゾルを前記基材に吹き付けるときには、前記エアロゾル搬送管の温度及び前記ノズルの温度が50°C〜150°Cになるように加熱手段によって制御され、前記ノズルの温度は前記エアロゾル搬送管の温度と同じかそれ以上であり、かつ前記エアロゾル搬送管内壁全体の温度が前記エアロゾル搬送管内を通過する前記エアロゾルの温度より高くなるように制御することを特徴とする複合構造物作製方法。

IPC (6件)：

B05B 1/24 , B01J 19/00 , B05C 9/14 , B05D 1/02 , B05D 3/02 , C23C 24/04

FI (6件)：

B05B 1/24 , B01J 19/00 K , B05C 9/14 , B05D 1/02 G , B05D 3/02 Z , C23C 24/04

Fターム (42件)：

4D075AA01 , 4D075AA03 , 4D075AA71 , 4D075AA86 , 4D075BB22X , 4D075BB32X , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075EA02 , 4D075EB01 , 4D075EC02 , 4F033BA05 , 4F033DA01 , 4F033EA01 , 4F033HA01 , 4F033LA13 , 4F042AA02 , 4F042AB06 , 4F042BA19 , 4F042DB01 , 4F042DB17 , 4F042DD38 , 4F042DD47 , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075AA30 , 4G075BB10 , 4G075CA02 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EA06 , 4G075EB01 , 4G075EC01 , 4G075FC20 , 4K044AA06 , 4K044AB05 , 4K044BA10 , 4K044BB01 , 4K044CA21 , 4K044CA23 , 4K044CA24

引用特許：

審査官引用 (6件)

ガス・デポジション法による超微粒子膜の形成法およびその形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-208134 出願人：真空冶金株式会社
ガスデポジション装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-341484 出願人：真空冶金株式会社
特公昭63-054075

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